贵研铂业赢得发明专利授权：“一种磁控溅射铜靶材的制备步调以及靶材的驾御”

本站音问，凭证天眼查APP数据融会贵研铂业（600459）新赢得一项发明专利授权，专利名为“一种磁控溅射铜靶材的制备步调以及靶材的驾御”，专利请求号为CN202211044447.X，授权日为2024年11月22日。

专利纲目：本发明公开了一种磁控溅射铜靶材的制备步调以及靶材的驾御，所制备的铜靶材平均晶粒尺寸≤1μm，且散布均匀、取向散布趋于一致。制备门径包括：将纯度≥4N的铜原料循序进行1)畅达锻造；2)坯料切割；3)异径异步叠轧；4)同径同步轧制；5)热惩处，制得高纯铜靶材。该步调工艺节略、易于工业化坐褥，制备的高纯铜靶材具有晶粒尺寸均匀狭窄、取向较为一致、靶材尺寸较大等特色，可驾御于大范围集成电路互连线的溅射镀膜。

本年以来贵研铂业新赢得专利授权17个，较前年同时减少了63.83%。斡旋公司2024年中报财务数据，本年上半年公司在研发方面插足了1.2亿元，同比增23.71%。

数据起首：天眼查APP

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